北京大学微电子学研究院的主要研究方向包括哪些

北京大学微电子学研究院专注于多个前沿领域，其中包括：

ULSI新器件及集成技术

作为该领域的首席科学家单位，实验室主持了“系统芯片中新器件新工艺的基础研究”这一国家级973课题。实验室承担了30多项国家级重大科技攻关项目，以及863计划、国家自然科学基金和国际合作项目，形成了独特的研究特色。研究重点聚焦于ULSI器件模型模拟、亚100纳米新结构器件的设计和微小尺度MOS器件的可靠性等方面。

系统集成芯片(SOC)设计及其设计方法学

在系统集成芯片研究中，该实验室融合了软件、硬件和体系结构的深度合作，以及器件物理与电路理论的紧密联系。其特色体现在软硬件协同设计和IP设计，如面向微处理器的IP设计技术、多目标圆片服务体系，以及系列专用集成电路的开发等。

微电子机械系统(MEMS)技术

在MEMS技术领域，实验室涉及工艺、器件和EDA等多个层面。具体研究内容包括体硅/表面牺牲层等多元化的MEMS制造技术，以及微加速度计、微陀螺、可集成光开关阵列、RF MEMS器件和生物MEMS器件等器件的研发，同时在MEMS EDA技术上也有所突破。

以上三个研究方向均反映了当前国际微电子学研究的前沿和热点，北京大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室在这些领域持续进行深入探究和创新。