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离子镀膜机,铝靶,钛靶,硅靶,配合氧气,氩气,氮气,都能产生什么色

离子镀膜机,铝靶,钛靶,硅靶,配合氧气,氩气,氮气,都能产生什么色

离子镀膜机中,不同的靶材和气体组合可以生成不同颜色的薄膜。以下是一些基本的靶材和气体组合,以及它们可能产生的颜色:

1. 铝靶 + 氩气:通常会生成银色的铝薄膜。

2. 铝靶 + 氧气:会生成透明至亮白色的氧化铝薄膜。

3. 钛靶 + 氩气:通常会生成银灰色的钛薄膜。

4. 钛靶 + 氮气:会生成金色的氮化钛(TiN)薄膜。

5. 钛靶 + 氧气:会生成透明至亮白色的氧化钛薄膜。

6. 硅靶 + 氩气:通常会生成灰色的硅薄膜。

7. 硅靶 + 氧气:会生成透明的氧化硅薄膜。

这些只是一些基本组合。