清华大学精密仪器系渊源于1932年成立的清华大学工学院机械工程学系，建系之初设立3个学科组，即原动力工程组、机械制造工程组、飞机及汽车工程组，经多年的发展和调整，逐步形成清华大学目前的精密仪器系、机械工程系、热能工程系、汽车工程系和工业工程系。
清华大学精密仪器系是我国历史最悠久的工程学科院系之一，80载春秋的发展历史，孕育和形成了我系积极进取、锐意改革、精益求精的优良传统。在老一辈教师及学科同仁们的辛勤工作和共同努力以及学校的大力支持下，紧扣学科发展脉搏、重视人才培养、服务社会需求，学科不断发展壮大，成为支撑清华大学工学学科建设的重要力量。
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