磁控溅射镀膜仪有没有辐射

磁控溅射仪当然有辐射，

1、可见光波段：阴极发射的电子电离介质气体分子，分子/原子光谱。

这些光密度不大，不至于刺伤钛合金狗眼. 属于无害辐射。

2、不可见光波段：阴极发射的电子电离介质气体分子，红外/紫外，分子/原子光谱。 紫外辐射有害

3、X射线：气体电离后的离子，在阴极加速场作用，轰击阴极靶材，作用区也比较复杂，除了实现离子刻蚀溅射以外，还有类似扫描电镜类似的散射出现，如二次电子，二次离子，及各种射线辐射。

在样品端，电子会激发出更多X射线，尽管磁控装置让大部分电子行程增加，到达样品其能量衰减近乎零，但会有一部分阴极电子或二次电子以最大能量轰击样品，从而会有X射线产生，如果连接类似扫描电镜附件X射线能谱仪，你会发现惊喜！

至于这些X射线是否有害，一般来说，紫外粒子能量足以电离物质，磁控溅射仪最大工作电压3000V，理论上最大辐射能量3Kev, 这些辐射是相当危险的。

对于扫描电镜样品制备驰奔小型溅射仪来说，大多1000V以下工作电压， 玻璃罩子可以有效阻拦紫外能量以上的高能射线，而可见光辐射对人基本无害。

而高能溅射仪，可获得更高溅射效率和膜层牢固度，多采用不锈钢工作主要室，除了可获得超高真空以外，防护有害辐射能力更强。